Verfahren zum Abscheiden einer Aluminiumoxid-Schicht sowie ein Kunststoff- oder Glassubstrat mit einer darauf abgeschiedenen Aluminiumoxid-Schicht

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Abscheiden einer Aluminiumoxid-Schicht auf einem Kunststoff- oder Glassubstrat (11; 21), wobei mindestens ein Aluminiumtarget innerhalb einer Vakuumkammer (10; 20) mittels mindestens eines Magnetrons (12; 22) zerstäubt und während des Zerstäubens des Aluminiumtargets Sauerstoff in die Vakuumkammer (10; 20) eingelassen wird, wobei die Aluminiumoxid-Schicht mit einer Dicke von mindestens 30 nm auf dem Kunststoff- oder Glassubstrat (11; 21) abgeschieden und die Aluminiumoxid-Schicht nach dem Abscheiden mit der Strahlung mindestens eines Blitzpulses mindestens einer Gasentladungslampe (15; 25) beaufschlagt wird.