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Title
Verfahren zur Herstellung elektrischer Kontakte auf einer Solarzelle
Date Issued
2019
Author(s)
Patent No
102017217713
Abstract
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung elektrischer Kontakte auf einer Solarzelle, das folgende Schritte umfasst:- Aufbringen einer dielektrischen Ausgangsbeschichtung auf dem Halbleiter-Substrat der Solarzelle,- Abtragen der dielektrischen Ausgangsbeschichtung in definierten Bereichen, so dass eine strukturierte dielektrische Beschichtung und freigelegte Bereiche des Halbleiter-Substrats erhalten werden,- Behandlung der freigelegten Bereiche des Halbleiter-Substrats mit einem halogenhaltigen Gas in einem Plasma-freien Trockenätzschritt unter Erhalt eines geätzten Halbleiter-Substrats in den freigelegten Bereichen,- elektrochemische oder chemische Abscheidung eines Metalls oder eines Halbleiters auf dem geätzten Halbleiter-Substrat.
Language
de
Patenprio
DE 102017217713 A1: 20171005