Verfahren zur Bestimmung von mechanischen Spannungen in Substraten oder Schaltungsträgern, die mit einem keramischen Werkstoff gebildet sind

Zur Bestimmung von mechanischen Spannungen in Substraten oder Schaltungsträgern (3), die mit einem keramischen Werkstoff gebildet sind, wird ein Laserstrahl auf einen Oberflächenbereich eines zu untersuchenden Substrats gerichtet und mit einem zur ortsaufgelösten Erfassung ausgebildeten Detektor(1a) von der bestrahlten Oberfläche reflektierte und gestreute elektromagnetische Strahlung in Form eines Speckle-Musters erfasst. Die Erfassung von Speckle-Mustern erfolgt zu einer ersten und mindestens einem zweiten nachfolgenden Zeit. Eine statische Erfassung einer Abbildung eines erfassten Speckle-Musters zumindest eines Bereiches, der mit elektromagnetischer Strahlung beleuchtet wird, wird auf seine Eigenschaften überprüft und dabei charakterisiert sowie parametrisiert, wenn die Auswertung mit einer Korrelationsfunktion mit einer Grauwertübertragungsmatrix wird. Die mit dem optischen Detektor (1) erfassten Daten werden einer elektronischen Auswerteeinheit zugeführt und in der elektronischen Auswerteeinheit wird ein Vergleich mit in einem elektronischen Speicher gespeicherten durch eine Kalibrierung erhaltenen Speckle-Mustern durchgeführt und mit dem Vergleich die jeweilige mechanische Spannung des keramischen Werkstoffs des Substrats bestimmt.