Vorrichtung zum tiefenaufgelösten Bestimmen der stofflichen Zusammensetzung einer Probe

Bei einer Vorrichtung zum tiefenaufgelösten Bestimmen der stofflichen Zusammensetzung einer Probe (121) aus einem Plasma (142) sind polychromatische Ausgangsstrahlung (106) und Ablationsstrahlung (136) aufgrund zusammenfallender optischer Achsen einer Fokussieroptik (115) mit einer chromatisch dispersiven Abbildungscharakteristik und einer Strahlformoptik (139) in einem Strahlungsabschnitt unmittelbar vor der Probe (121) kollinear überlagert. Mit einem Spektrometer (130) lässt sich durch Bestimmen des Spektralanteiles höchster Intensität des von der Probe (121) rückgeworfenen Anteils der polychromatischen Ausgangsstrahlung (106) und der Spektralkomponenten einer von einem Plasma (142) erzeugten Plasmastrahlung (145) die stoffliche Zusammensetzung der Probe (121) tiefenaufgelöst bestimmen.