Mikrospiegelanordnung und Verfahren zur Herstellung einer Mikrospiegelanordnung

Es wird eine Mikrospiegelanordnung mit mindestens einer in einem Chiprahmen über ein oder mehrere Federelemente schwingfähig aufgehängten Spiegelplatte vorgeschlagen. Dabei ist mindestens ein mit einer Ein- und Auslassöffnung versehener Mikrokanal zum Durchleiten eines Kühlmediums in dem Chiprahmen und in dem einen oder mehreren Federelementen oder in dem Chiprahmen, in dem einen oder mehreren Federelementen und in der mindestens einen Spiegelplatte angeordnet.

The invention relates to a micromirror arrangement with at least one mirror plate which is suspended in a chip frame by means of one or more spring elements so as to be able to vibrate. At least one microchannel provided with an inlet and outlet opening for conducting a coolant is provided in the chip frame and in the one or more spring elements, or said at least one microchannel is provided in the chip frame, in the one or more spring elements, and in the at least one mirror plate.