Plasmagenerator sowie Verfahren zur Erzeugung und Anwendung eines ionisierten Gases

Die vorliegende Erfindung betrifft einen Plasmagenerator sowie ein Verfahren zur Plasmaerzeugung mit dem Plasmagenerator. Der Plasmagenerator umfasst zumindest eine Plasmakammer mit einer Zuführung für ein Plasmagas, eine mit der Plasmakammer verbundene Pumpe sowie eine Ionisationseinrichtung zur Erzeugung eines Niederdruckplasmas in der Plasmakammer. Die Pumpe ist als Strahlpumpe ausgebildet, die mit einem Treibmedium betrieben wird und durch die ionisiertes Plasmagas aus der Plasmakammer absaugbar und mit dem Treibmedium vermischbar ist. Der Plasmagenerator ist so ausgebildet, dass der für eine Zündung und Aufrechterhaltung des Niederdruckplasmas erforderliche Unterdruck in der Plasmakammer durch die Strahlpumpe eingestellt wird.; Mit diesem Plasmagenerator und dem vorgeschlagenen Verfahren lässt sich in einer kompakten Anordnung ein Niederdruckplasma erzeugen und das ionisierte Gas bei Atmosphärendruck anwenden.

The present invention relates to a plasma generator and to a method for generating plasma using said plasma generator. The plasma generator comprises at least one plasma chamber having a feed line (10) for a plasma gas (2), a pump connected to the plasma chamber, and an ionising device for generating low pressure plasma in the plasma chamber. The pump is designed as a jet pump (13), which is operated with a working fluid (1) and by which the ionised plasma gas can be extracted from the plasma chamber and mixed with the working fluid (1). The plasma generator is designed such that the negative pressure required for igniting and maintaining the low pressure plasma is set in the plasma chamber by the jet pump (13). Using said plasma generator and the proposed method, low pressure plasma can be generated in a compact arrangement and the ionised gas can be used at atmospheric pressure.