Verfahren zur Mikrostrukturierung von Festkoerperoberflaechen

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Mikrostrukturierung von Festkoerperoberflaechen durch chemisches oder elektrochemisches Aetzen, bei dem die Festkoerperoberflaeche mit einem Aetzfluid unter Bildung von im Aetzfluid unloeslichen oder gering loeslichen Zwischenprodukten behandelt wird. Durch zusaetzliche Verwendung eines Partikelstrahls koennen diese Zwischenprodukte auf einfache Weise entfernt werden. Hiermit verbunden ist der Vorteil, dass eine schaedigungsarme Mikrostrukturierung von Festkoerpern ermoeglicht wird.