Stufenkoerper fuer den Einsatz in einem Interferometer

Bei interferometrischen Messverfahren eines ersten Messinterferometers (7) und eines Empfaengerinterferometers (10) ist es bekannt, einen Stufenkoerper (16) einzusetzen. Mit der vorliegenden Erfindung wird eine neuartige Ausbildung eines solchen Stufenkoerpers (16) vorgeschlagen, bei der fuer das Auftreffen von Licht vorgesehene Auftrittsflaechen (20) der Stufen (18) eine durchgehende Serpentine (22) bilden. Die Serpentine (22) stellt einen durchgehenden Messbereich zur Verfuegung, so dass die vom Stufenkoerper (16) erzeugten Messinterferenzen ohne Unterbrechung oder Aufteilung der Messinterferenzen, wie sie ansonsten bei einem Wechsel von einer zur naechsten Stufe (18) stattfinden wuerde, auftreten.

DE 10347650 B UPAB: 20050217 NOVELTY - An interferometer has a stepped body in which each step (18) has a surface (20) on which light impinges. The steps form a switchback path, each path being linked to the step above and below at each end by a plateau (45). DETAILED DESCRIPTION - The step surfaces (20) are reflective. Also claimed is the use of the stepped body in an interferometer with a source of short coherent light or incoherent light are split into a reference beam and a measuring beam in a second interferometer. USE - Stepped reflective body for interferometer. ADVANTAGE - The stepped body facilitates detection over the entire measuring range.