Vorrichtung und Verfahren zur Probenuntersuchung mittels eines atmosphaerischen oder druckvariablen Rasterelektronenstrahlmikroskops

Beschrieben wird eine Vorrichtung sowie ein Verfahren zur Probenuntersuchung mittels eines atmosphaerischen oder druckvariablen Rasterelektronenstrahlmikroskops, das ueber einen Probenraum sowie eine Elektronenstrahlkammer verfuegt, in der gegenueber dem Probenraum fuer die Ausbildung und Ausbreitung eines Elektronenstrahls Unterdruckbedingungen herrschen, und das einen Probentraeger im Probenraum vorsieht, der relativ zum Elektronenstrahl positionierbar ist. Die Erfindung zeichnet sich dadurch aus, dass der Probentraeger innerhalb einer gegenueber dem Elektronenstrahl hermetisch gasdicht abschliessbaren Kammer integriert ist, die ueber wenigstens eine gasdicht abschliessbare Oeffnung verfuegt, durch die der Elektronenstrahl auf den Probentraeger trifft.

DE 10256718 A UPAB: 20040720 NOVELTY - The invention proposes that within the main chamber (1) of the beam microscope a further internal chamber (11) be provided. This is equipped with a specimen support (8) which can be raised and lowered by a pantograph with the aid of a pneumatic drive (9). The internal chamber has an opening (4) to atmosphere which can be sealed hermetically by a sliding cover (5) operated by a linear drive (6). DETAILED DESCRIPTION - An INDEPENDENT CLAIM is also included for a method USE - For the investigation of living cell cultures using atmospheric or pressure-variable scanning electron-beam microscope. ADVANTAGE - The provision of the inner chamber for the investigated specimen enables the atmospheric condition inside it to be adjusted to the requirements of the particular specimen including moist or non conducting specimens. It can be fitted retrospectively to existing microscopes.