Title

Vorrichtung zum kontaminationsfreien, kontinuierlichen oder getakteten Transport von scheibenfoermigen Gegenstaenden, insbesondere Substraten oder Wafern, durch eine geschlossene Behandlungsstrecke
Date Issued
2000
Author(s)
Schmutz, W.
Gentischer, J.
Preu, R.
Moeller, R.
Guethenke, G.
Schweitzer, G.
Patent No
1998-19857142
Language
de
Institute
Link
Patenprio
DE 1998-19857142 A: 19981211