1999
Doctoral Thesis
Title

Abscheidung superharter Schichten aus dem ternären System B, C und N mit einem HF-PLD-Hybridverfahren

Thesis Note
Zugl.: Aachen, TH, Diss., 1999
Author(s)
Klotzbücher, T.
Publisher
Publishing Place
Aachen
Language
German
Keyword(s)