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Schnelle optische Vermessung von Mikrostrukturen auf tellergroßen Flächen
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2021
Journal Article
Title
Schnelle optische Vermessung von Mikrostrukturen auf tellergroßen Flächen
Author(s)
Beckmann, Tobias
Fraunhofer-Institut für Physikalische Messtechnik IPM
Journal
JOT. Journal für Oberflächentechnik
DOI
10.1007/s35144-021-1158-x
Language
German
Fraunhofer-Institut für Physikalische Messtechnik IPM
