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2019
Journal Article
Title
Elektrisch isolierende und piezoelektrisch aktive Schichten
Title Supplement
Für Anwendungen in Sensorik, Elektronik und Medizintechnik
Abstract
Sehr viele Anwendungen und Produkte basieren heutzutage bereits auf der Dünnschichttechnik. Durch innovative Beschichtungstechnologien, Materialien und Materialkombinationen werden neue Anwendungen und Produkte in den Bereichen Optik, Elektronik, Sensorik, Energie- und Medizintechnik oftmals überhaupt erst möglich. Die Anforderungen an die Schichten und Schichtsysteme sind dabei vielfältig und anspruchsvoll.
Author(s)
Hildisch, Jan