• English
  • Deutsch
  • Log In
    Password Login
    Research Outputs
    Fundings & Projects
    Researchers
    Institutes
    Statistics
Repository logo
Fraunhofer-Gesellschaft
  1. Home
  2. Fraunhofer-Gesellschaft
  3. Artikel
  4. Strukturierungsverfahren
 
  • Details
  • Full
Options
2018
Book Article
Title

Strukturierungsverfahren

Author(s)
Fader, Robert
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Lorenz, Jürgen  
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Rommel, Mathias  orcid-logo
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Baum, Mario  
Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS  
Danylyuk, Serhiy  
Fraunhofer-Institut für Lasertechnik ILT  
Gillner, Arnold  
Fraunhofer-Institut für Lasertechnik ILT  
Stollenwerk, Jochen  
Fraunhofer-Institut für Lasertechnik ILT  
Bläsi, Benedikt  
Fraunhofer-Institut für Solare Energiesysteme ISE  
Mainwork
Angewandte Nanotechnologie. Beispiele aus der Fraunhofer-Allianz Nanotechnologie  
Language
German
Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS  
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Fraunhofer-Institut für Lasertechnik ILT  
Fraunhofer-Institut für Solare Energiesysteme ISE  
Keyword(s)

  • Nanotechnologie

  • EUV

  • Laser

  • Laserstrukturierung

  • Laser-Interferenzlithographie

  • Nanoimprint-Lithographie

  • UV-SCIL

  • FIB

  • fokussierter Ionenstrahl

  • Cookie settings
  • Imprint
  • Privacy policy
  • Api
  • Contact
© 2024