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Anwendungsaspekte des Plasmas in den Optischen Technologien
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2008
Journal Article
Title
Anwendungsaspekte des Plasmas in den Optischen Technologien
Author(s)
Kaiser, N.
Weltmann, K.D.
Oehr, Christian
Journal
Vakuum in Forschung und Praxis
DOI
10.1002/vipr.200800353
Language
German
Fraunhofer-Institut für Grenzflächen- und Bioverfahrenstechnik IGB
