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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Memetic algorithms: Parametric optimization for microlithography
 
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2007
  • Aufsatz in Buch

Titel

Memetic algorithms: Parametric optimization for microlithography

Author(s)
Dürr, C.
Fühner, T.
Tollkühn, B.
Erdmann, A.
Kokai, G.
Hauptwerk
Hybrid evolutionary algorithms
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DOI
10.1007/978-3-540-73297-6_9
Language
Englisch
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