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Mehrdimensionale Simulation halbleitertechnologischer Fertigungsschritte
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1996
Book Article
Title
Mehrdimensionale Simulation halbleitertechnologischer Fertigungsschritte
Author(s)
Lorenz, J.
Bär, E.
Burenkov, A.
Fraunhofer-Institut für Integrierte Schaltungen IIS
Tietzel, K.
Mainwork
Fraunhofer-Institut für Integrierte Schaltungen, Bereich Bauelementetechnologie. Leistungen und Ergebnisse. Jahresbericht 1995
Language
German
IIS-B
