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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Braucht die Mikrosystemtechnik die Reinraumtechnik?
 
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1994
Journal Article
Title

Braucht die Mikrosystemtechnik die Reinraumtechnik?

Abstract
Mehr und mehr technologische Produkte, Fertigungsabläufe und Verfahren setzen ein reines Umfeld voraus, um aus technischer Sicht produzierbar zu sein sowie Qualitätsverbesserungen zu erzielen. Demzufolge wird die Reinraumtechnik für zunehmend mehr Produkte und Verfahren als Produktionsumfeld eingesetzt.
Author(s)
Klumpp, B.
Dorner, J.
Journal
F und M. Feinwerktechnik, Mikrotechnik, Meßtechnik  
Language
German
Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung IPA  
Keyword(s)
  • Mikrosystem

  • Mikrosystemtechnik

  • Reinraumtechnik

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