Sol-Gel-Techniken für neue Materialien der Mikrotechnik

Der Sol-Gel-Prozeß ist ein Weg zur Herstellung von Gläsern, keramischen Werkstoffen und anorganisch-organischen Kompositen über chemische Synthesen. Es können komplexe Zusammensetzungen präpariert werden, und es sind Zwischenstufen herstellbar, die zu feinen Pulvern, Schichten und Fasern weiterverarbeitet werden können. In Verbindung mit neuen Formgebungstechniken, wie z.B. Prägen oder photolithographischen Verfahren, stellt der Prozeß ein sehr interessantes Potential für die Mikrotechnik dar.