Title

Mikro-Nano-Integration. CD-ROM

Title Supplement

Beiträge des 3. GMM-Workshops, 3.-4. März 2011 in Stuttgart

Person Involved

Corporate Author

VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik -GMM-

Publisher

Publishing Place

Berlin

Publication Date

2011

Series

GMM-Fachbericht; 68

ISBN

978-3-8007-3334-7

Conference