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Micro mirror arrays for VLSI mask fabrication
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2003
Book Article
Title
Micro mirror arrays for VLSI mask fabrication
Author(s)
Schenk, H.
Dauderstädt, U.
Dürr, P.
Lakner, H.K.
Mainwork
Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme. Annual Report 2002
Language
English
Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme IMS
