Optische Kohärenztomographie zur kombinierten Form- und Zentrierprüfung kleinaperturiger optischer Komponenten

Kleinaperturige optische Komponenten mit komplexer Form spielen zunehmend eine Rolle bei Sensing- und Imagingapplikationen. Die messtechnische Charakterisierung dieser Bauteile stellt jedoch noch immer eine Herausforderung dar. Es wurde ein auf optischer Kohärenztomographie basierendes Verfahren entwickelt, welches in der Lage ist, die Form- und Zentrierung beider Funktionsflächen kleinaperturiger Linsen mit nur einer Messung zu erfassen. Die Herausforderung stellt dabei die Messung der dem Messkopf abgewandten Funktionsfläche dar, da diese aufgrund der Lichtbrechung an der dem Messkopf zugewandten Funktionsfläche verzerrt gemessen wird.

Complex-shaped small-aperture optical components increasingly play a role in sensing and imaging applications. However, their metrological characterization remains challenging. A measurement method was developed, which bases on optical coherence tomography to measure form and centration of both functional surfaces of small-aperture lenses with only one measurement. Key challenge is the measurement of the functional surface facing away from the measurement head since it is distorted due to the refraction of light on the functional surface that faces towards the measurement head.