Entwicklungsrichtlinien für reinraumtaugliche Fertigungsgeräte

Ziel der reinraumgerechten Konstruktion ist es, die Partikelemission vor allem in dem Bereich des Fertigungsystems zu minimieren, in dem die Produkte offen, d. h. ungeschützt, gehandhabt werden müssen. Die konstruktiven Maßnahmen beinhalten zum einen die Gestaltung der Anlage und zum anderen die Verwendung von Funktionsträgern und Baugruppen mit minimaler Partikelemission. Bei der Gestaltung der Anlage kommen hauptsächlich Gesichtspunkte der Strömungsführung zum Tragen. Die vorgestellten Ergebnisse resultieren aus Partikelmessungen, Partikelanalysen und Strömungsuntersuchungen an einem repräsentativen Spektrum von Funktionsträgern wie Motoren, Führungen, Antriebssysteme, Baugruppen und Fertigungsgeräte.