2014
Presentation
Title

Process development for nanoimprint at Fraunhofer IISB

Title Supplement
Presentation held at SUSS Technology Forum Nanoimprint, June 24, 2014, Grenoble
Author(s)
Fader, Robert
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Rumler, Maximilian
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Scharin, Marina
Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente, Universität Erlangen-Nürnberg
Förthner, Michael
Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente, Universität Erlangen-Nürnberg
Rommel, Mathias  orcid-logo
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Conference
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Language
English