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1996
Conference Paper
Title
Reinraumtechnik zur Fertigung von Displays
Other Title
Cleanroom Technology for Display Production
Abstract
In der Herstellung von Displays nehmen die produktionstechnischen Herausforderungen ständig zu. Die zunehmende Substratgröße und die kleiner werdende Pixelgröße bei zunehmendem Kostendruck stellen die größte Herausforderung für die notwendige Produktionstechnik dar. Das Reduzieren der Kontaminationsursachen und das Entwickeln von neuen kostengünstigeren Reinraumkonzepten wird für die Zukunft dringend notwendig gesehen.
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