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2021
Journal Article
Title
Kleinsten Rückständen auf Oberflächen auf der Spur
Abstract
Mithilfe der laserinduzierten Plasmaspektroskopie lassen sich Kontaminationen von Oberflächenper digitalisierter Inline-Messung schon während des Fertigungsprozesses erkennen. Im Rahmen des Projekts""ALASKA"" wurde diese Technologie genutzt und in eine vollständig automatisierte Einheit für komplexe Prozessketten überführt.
Author(s)
Corporate Author
Fraunhofer-Institut für Fertigungstechnik und Angewandte Materialforschung -IFAM-, Bremen
Project(s)
ALASKA
Funder
Bundesministerium fur Wirtschaft und Energie BMWi (Deutschland)