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Abschlussarbeit
Miniaturisiertes Weißlicht-Interferometer mit hoher Messfrequenz für die absolute Abstandsmessung
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2003
Doctoral Thesis
Title
Miniaturisiertes Weißlicht-Interferometer mit hoher Messfrequenz für die absolute Abstandsmessung
Thesis Note
Zugl.: Aachen, TH, Diss., 2003
Author(s)
Bosbach, Christof
Publisher
Shaker
Publishing Place
Aachen
Language
German
Fraunhofer-Institut für Produktionstechnologie IPT