Auslegung reinraumtauglicher Fertigungseinrichtungen unter Berücksichtigung strömungstechnischer Gesichtspunkte
Abstract
Da luftgetragene Partikel den Strömungsbewegungen folgen, ist es unerläßlich, reinraumtaugliche Funktionsträger und Baugruppen unter Berücksichtigung strömungstechnischer Gesichtspunkte auszulegen und in die Gesamtanlage zu integrieren. Anzustreben ist dabei eine möglichst vollständige Trennung der strömungstechnischen Einflußbereiche des Produkts und poteniteller Partikelquellen. Basierend auf Erkenntnissen, die durch experimentelle Strömungsuntersuchungen an exemplarisch ausgewählten Anlagen und Versuchsaufbauten gewonnen wurden, sind bezüglich der - strömungsgerechten Bauweise sowie Anordnung von Funktionsträgern und Baugruppen in Fertigungsanlagen - strömungsgerechten Bauweise und Aufstellung von Fertigungsanlagen in Reinräumen - Vorgehensweise bei der Produkthandhabung Allgemeingültigkeit besitzende Regeln abgeleitet worden. Es wird eine Anzahl der wichtigsten Regeln, die einem Anlagenkonstrukteur als Hilfsmittel zur strömungstechnischen Auslegung von reinraumtauglichen Fertigungs einrichtungen dienen sollen, vorgestellt.
