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Der MAD-Prozeß - ein plasmaaktiviertes Hochrate-Vakuumbeschichtungsverfahren
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1996
Book Article
Title
Der MAD-Prozeß - ein plasmaaktiviertes Hochrate-Vakuumbeschichtungsverfahren
Author(s)
Reschke, J.
Goedicke, K.
Schiller, S.
Mainwork
Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik. Jahresbericht 1995
Language
German
Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP
