Einsatz der Modellierung und Simulation in der Entwicklung von Sensoren. Lichtempfindliche Sensoren auf CMOS-Basis

Die ein- und mehrdimensionale Prozeß- und Devicesimulation stellt ein wesentliches Hilfsmittel zur effektiven Entwicklung von Technologien und Bauelementen der Mikroelektronik dar. Die Simulatoren TESIM-3 (1D-Prozeßsimulation), DIOS (2D-Prozeßsimulation) und ToSCA (2D-Devicessimulation) werden in ihrer Leistungsfähigkeit bei der Anwendung auf sensorische Bauelemente dargestellt. Aus der Entwicklung von lichtempfindlichen CMOS-Bauelementstrukturen werden Modelle und Simulationsergebnisse vorgestellt.