Gedrehte und gefräste Mikrostrukturen

Das Beispiel der Elektrotechnik zeigt, daß durch die Miniaturisierung von Bauelementen grundlegende Innovationen möglich sind. In der Mikromechanik können Fertigungsverfahren wie Drehen, Fräsen und Bohren zur Herstellung von Bauelementen im Mikrometerbereich ein gesetzt werden. Dadurch lassen sich Strukturen konventionell herstellen, die um den Faktor 10 kleiner sind als das menschliche Haar. Die Bearbeitungszeiten für Musterbauteile betragen nur wenige Minuten. Der Werkzeugverschleiß und die damit verbundenen Werkzeugkosten sind aufgrund des kleinen zu zerspanenden Volumens sehr gering. Die Verfahren eignen sich besonders für die Herstellung von Prototypen und Kleinserien. Mit Hilfe von Vervielfältigungsverfahren können über die Prototypen preisgünstige Massenbauteile hergestellt werden.'