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Konferenzschrift
Reaktives Bonden
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2013
Conference Paper
Title
Reaktives Bonden
Title Supplement
Eine neue Raumtemperatur Packaging-Technologie in der Mikrosystemtechnik und Mikroelektronik
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Author(s)
Braeuer, J.
Freitag, A.
Dietrich, T.R.
Wiemer, Maik
Geßner, Thomas
Mainwork
Deutsche IMAPS-Konferenz 2013. Proceedings. CD-ROM
Conference
Deutsche IMAPS-Konferenz 2013
Language
German
Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS