Funktionale 3D-Strukturierung von Keramiken zur Herstellung sensorischer Mikrosysteme

Der Beitrag beschreibt die Herstellung 3D-strukturierter keramischer Mikrosysteme auf Basis der LTCC/HTCC-Mehrlagenkeramiktechnologie. Die mehrlagenkeramische Prozesskette, die involvierten Materialien, die spezifischen Möglichkeiten bzw. die Grenzen der Einsetzbarkeit dieser Technologie werden dargelegt und die Vor- und Nachteile gegenüber alternativen Herstellungstechnologien herausgearbeitet. Abschließend werden verschiedene mehrlagenkeramische Anwendungen der Sensorik aufgezeigt.

The paper describes the manufacturing of 3D structured Microsystems based on the LTCC/HTCC Multilayer Ceramic Technology. The Multilayer Ceramic process chain and the involved materials will be described. Furthermore the technological possibilities and confinements will be shown and the advantages resp. dis advantages compared with alternative technologies worked out. Finally different multilayer ceramic based applications related to the field of sensors will be shown.