2005
Doctoral Thesis
Title

Optimierung der Stickstoffkonzentrationen in Gatedielektrika und -elektroden für fortschrittliche CMOS-Technologien

Thesis Note
Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2004
Author(s)
Beichele, M.
Publisher
Publishing Place
Aachen
Language
German