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Schichtherstellung durch Sputtern
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2010
Book Article
Title
Schichtherstellung durch Sputtern
Author(s)
Jung, T.
Mainwork
Vakuum - Plasma - Technologien. Beschichtung und Modifizierung von Oberflächen. Tl.1
Language
German
Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST
