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Konferenzschrift
Messverfahren zur Untersuchung optischer Oberflächen für den VUV- bis IR-Bereich
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2001
Conference Paper
Title
Messverfahren zur Untersuchung optischer Oberflächen für den VUV- bis IR-Bereich
Author(s)
Duparre, A.
Notni, G.
Mainwork
Optik und Optronik in der Wehrtechnik I
Conference
Tagung Optik und Optronik in der Wehrtechnik 2001
Language
German
Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF
Keyword(s)
Streulichtmessverfahren
Rasterkraftmikroskopie
optische Oberfläche
Rauheit