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Konferenzschrift
Piezokeramische Dickschichttechnik für Optische Anwendungen - Deformierbare Spiegel und hochintegrierbare Stellelemente
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2014
Conference Paper
Title
Piezokeramische Dickschichttechnik für Optische Anwendungen - Deformierbare Spiegel und hochintegrierbare Stellelemente
Author(s)
Bramlage, Bernhard
Fraunhofer-Institut für Keramische Technologien und Systeme IKTS
Ernst, Dörthe
Fraunhofer-Institut für Keramische Technologien und Systeme IKTS
Gebhardt, Sylvia
Fraunhofer-Institut für Keramische Technologien und Systeme IKTS
Pabst, Oliver
Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF
Reinlein, Claudia
Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF
Mainwork
Optomechatronik. Siebter Workshop Optische Technologien 2013. Tagungsband
Conference
Workshop Optische Technologien 2013
Language
German
Fraunhofer-Institut für Keramische Technologien und Systeme IKTS
Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF
