Excimerlaser und Mikrospiegelarrays als flexible hochdynamische Einheit - Ablenkungsmanöver für Laserstrahlen
Abstract
Excimerlaser eignen sich besonders für das Markieren oder Modifizieren von empfindlichen Materialien beziehungsweise Oberflächen. Bevorzugtes Verfahren ist hier bei die Maskenprojektion, bei der alle in der Maske enthaltenen Informationen mit einem Laserpuls übertragen werden. Mit der Entwicklung neuer leistungsfähiger Excimerlaser in Kombination mit einer flexiblen Mikrospiegelmatrix oder einem speziellen Laserscanner für Excimerlaser werden jedoch die Beschränkungen der Maskenprojektion durchbrochen und neue Anwendungen der Mikrobearbeitung und -strukturierung erschlossen.
