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Simulation von Prozessen und Bauelementestrukturen der Mikrosystemtechnik
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1993
Book Article
Title
Simulation von Prozessen und Bauelementestrukturen der Mikrosystemtechnik
Author(s)
Erlebach, A.
Richter, F.
Stephan, R.
Mainwork
Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme. Tätigkeitsbericht 1992
Language
German
IMS2
