Perspektiven der Fertigungsgeräte-Industrie in der industriellen Produktion von Mikrosystemen

Die industrielle Produktion von Mikrosystemen steckt in den Anfängen. Allerdings werden heute bereits "Minisysteme" wie beispielsweise Endoskope, Räderwerke für Uhren, Mikrophone oder mechanische Elemente für Festplattenlaufwerke industriell gefertigt. Für derartige Produkte sind mit dem Markteintritt der nächsten Entwicklungsgenerationen weitere Stufen der Miniaturisierung zu erwarten. In Zukunft werden die dabei zum Einsatz kommenden Mikrosysteme aber nicht nur von der Großindustrie, sondern auch in hohem Maß von der mittelständischen Industrie, die im Bereich der Feinwerktechnik, Optik, Sensor- oder Aktortechnik u. a. tätig ist, produziert. Die "Mikroproduktionstechnik" steht derzeit zwischen Definitionsphase und Realisierung. Die laufenden Produktentwicklungen stecken den Rahmen für die Leistungsanforderungen der Fertigungsgerätetechnologie ab, die von der Reinraumtechnik bis zur Mikromontage in bisher unbekannte Dimensionen vorstößt. Nicht nur die neuen mikrosystemtechnischen Prod ukte entscheiden über den Erfolg der künftigen Mikrosystemhersteller, vielmehr spielt der ganzheitliche Entwicklungsprozeß, angefangen vom fertigungsgerechten Entwurf der Produkte, der Umsetzung neuer Fertigungsgeräte und -prozesse bis zur Anpassung der Produktionsabläufe eine entscheidende Rolle.