• English
  • Deutsch
  • Log In
    Password Login
    or
  • Research Outputs
  • Projects
  • Researchers
  • Institutes
  • Statistics
Repository logo
Fraunhofer-Gesellschaft
  1. Home
  2. Fraunhofer-Gesellschaft
  3. Konferenzschrift
  4. In-situ-Monitoring und Regelung mittels Analyse der optischen Plasmaemission
 
  • Details
  • Full
Options
1995
Conference Paper
Titel

In-situ-Monitoring und Regelung mittels Analyse der optischen Plasmaemission

Author(s)
Kirchhoff, V.
Schulze, M.
Hauptwerk
Statusseminar Oberflächen- und Schichttechnologien 1995
Konferenz
Statusseminar Oberflächen- und Schichttechnologien 1995
Thumbnail Image
Language
German
google-scholar
Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP
  • Cookie settings
  • Imprint
  • Privacy policy
  • Api
  • Send Feedback
© 2022