Der Prozeßreinraum - Neue Strategien zur Qualitätssteigerung am Produkt

Die Qualitatssteigerung am Produkt bezüglich der Reduzierung der partikulären Verunreinigung seiner Oberflächen kann durch gezielte Maßnahmen in der Strömungsführung bei der Konzeption bzw. Konstruktion von Fertigungsgeräten und den entsprechenden Prozeßreinräumen bzw. lokalen Reinräumen erreicht werden. Der Prozeßreinraum beschränkt sich auf einen minimalsten, lokalen Reinraum in unmittelbarer Umgebung des Fertigungsprozesses und bietet unter der Anwendung von Konstruktionsrichtlinien erhebliche Vorteile, wie z.B.: minimales Reinluftvolumen mit geringem Filter- bzw. Ventilationsaufwand, gezielte Filtration von chemischen Verunreinigungen in der Umluft, die die Produktqualität beeinflussen (z.B. 64-MB-Fertigung), geringer Platzbedarf für die Fertigungsumgebung, geringe Investitions- und Betriebskosten, Steigerung der Produktqualität durch zielgerichtete Produktumstromung mit hochreiner Erstluft, hohe Flexibilität wie z.B. die Möglichkeit zum modularen Aufbau von Fertigungsanlagen mit m ehreren Prozeßmodulen. Die vorgestellten, allgemeingültigen Richtlinien und Vorgehensweisen bei dieser Konstruktion basieren auf Erkenntnissen, die durch experimentelle Strömungsuntersuchungen an verschiedenen Fertigungsanlagen mit lokalen Reinräumen gewonnen wurden.