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Modifizierung von Grenzflaechen durch duenne Sputter-Schichten
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1983
Journal Article
Title
Modifizierung von Grenzflaechen durch duenne Sputter-Schichten
Author(s)
Birkner, K.
Hellwig, G.
Schindler, B.
Bauser, H.
Journal
Chemie- Ingenieur- Technik
Language
German
Fraunhofer-Institut für Grenzflächen- und Bioverfahrenstechnik IGB
Keyword(s)
Grenzfläche
Modifizierung
Schicht(dünn)
Sputter-Schicht