Spanende Bearbeitung von Halbleiterwerkstoffen, Teilprojekt: Vergleichende technologische Untersuchungen zum Planparallelläppen und Zweiseiten-Planschleifen von Halbleiterscheiben

1996

Report

Author(s)

Spur, G.

Engel, H.

Corporate Author

Fraunhofer-Institut für Produktionsanlagen und Konstruktionstechnik -IPK-, Berlin

Publisher

Publishing Place

Berlin