Smart Fabrication. Konzepte für intelligente Reinheitssysteme

Ziel des Projektes ist es, Prinzipien für intelligente Reinheitssysteme zu konzipieren, zu entwickeln und zu erproben, die als Schlüsselkomponenten zukünftige Halbleiterfertigungen möglich machen. Mit den vorgesehenen Arbeiten sollen Vorraussetzungen dafür geschaffen werden, zukünftig schnell und flexibel intelligente Reinheitssysteme an die spezifischen Anforderungen der verschiedenen Produkte anpaßbar zu machen und die benötigten Halbleiterfertigungsgeräte kostengünstig und schnell in die so definierte Reinrauminfrastruktur einzubringen. Es sollen Möglichkeiten geschaffen werden, Halbleiterfertigungsgeräte, Automatisierungskomponenten und Reinraumtechnik aufeinander abzustimmen und innerhalb eines Gesamtsystems zu realisieren.