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Konferenzschrift
Modellgestützte Bewegungsführung von quasistatischen Mikroscannern
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2013
Conference Paper
Title
Modellgestützte Bewegungsführung von quasistatischen Mikroscannern
Author(s)
Schroedter, Richard
TU Dresden
Roth, Matthias
TU Dresden
Sandner, Thilo
Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS
Janschek, Klaus
TU Dresden
Mainwork
Fachtagung Mechatronik 2013
Project(s)
TACO
Funder
European Commission EC
Conference
Fachtagung Mechatronik 2013
Language
German
Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS