Spezifische Prozeßtechniken der Mikromechanik

Die Mikromechanik macht die Herstellung extrem feiner mechanischer Strukturen aus Silizium mit bisher unerreicht hoher Präzision möglich. Dabei bedient sich diese Technik der diversen hochentwickelten Herstellungsverfahren von mikroelektronischen Bauelementen und Schaltkreisen, was zusätzlich ihre schnelle Verbreitung ermöglicht. Während die Hauptaufgabe der bestehenden Siliziumtechnologien eine gezielte Beeinflussung der elektrischen Eigenschaften des Siliziumeinkristalls ist, müssen einige dieser Technologien, entsprechend der veränderten Zielsetzung der Mikromechanik, modifiziert bzw. ergänzt werden. Im folgenden wird versucht, eine Zusammenfassung der wesentlichsten Verfahren zu geben, welche eine Beeinflussung der mechanischen Eigenschaften der verwendeten Materialien ermöglichen bzw. Lösungswege für die Herstellung von komplexeren dreidimensionalen Strukturen liefern können.