Partikelmessung in Reinstmedien

Zur Überwachung von reinen Arbeitsplätzen, Kontrolle von reinen Gasen und Flüssigkeiten sowie zur Qualifizierung von Prozesseinrichtungen sind optische Partikelzähler die einzigen Messgeräte, die eine Echtzeitmessung von Partikeln ermöglichen. Diese zeichnen sich dadurch aus, dass sie automatisiert und in-situ Größe und Anzahl der Partikel in dem relevanten Medium in einem sehr großen Konzentrationsbereich bestimmen können. Der Vortrag gibt einen Überblick über den derzeit gängigen Stand der Technik zur Partikelmessung. Es werden die physikalischen Grundlagen von optischen Streulicht- und Extinktionspartikelzähler sowie deren Einsatzgebiet und -grenzen zur Partikelmessung in reinen Flüssigkeiten, Gase und Luft erläutert. Ausführungen zur Funktionsweise und Kalibrierung der Messgeräte runden den Überblick ab.