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1988
Journal Article
Title
Reduction of wafer transfer for optimizing material flow
Abstract
Der Artikel behandelt Strategien zur Vermeidung von Umhordevorgaengen in der Halbleiterfertigung. Mit Hilfe dieser Strategien werden Moeglichkeiten zur Optimierung von Materialfluss und Handhabungsvorgaengen aufgezeigt. (IPA)
Language
German
Keyword(s)