Schnell lenkbare Mikroscanner-Spiegel

Das Fraunhofer ISIT hat kompakte Doppelachsen-Mikroscanner-Spiegel entwickelt, die nach einer neu entwickelten kostengünstigen Packungstechnologie auf Waferebene vakuumverkapselt sind. Dies reduziert die Luftreibung in Verbindung mit einer phasengekoppelten Antriebsregelung der Spiegelachsen und ist der Schlüssel für eine hochaufgelöste Laserprojektion. Darüber hinaus vermindern die schrägen Glasdeckel ungewollte, störende Laserreflexe.